推動綠色低碳供應鏈是台積公司實踐永續發展的核心策略之一，隨著先進製程演進，化學品四甲基氫氧化銨（Tetramethyl Ammonium Hydroxide, TMAH）需求持續上升，針對TMAH過濾過程中濾芯（Filter）用量增加的挑戰，台積公司攜手供應商提升濾芯清洗技術，不僅成功將其使用壽命延長，亦減少清洗產生的廢液排放；截至民國114年7月，平均年省濾芯用量431支、減少廢液排放2,580公噸，促進環境友善與綠色製造能力。
提升潔淨度，濾芯效能再突破
TMAH是半導體黃光製程用量最大的化學品，因應先進製程對TMAH品質有嚴格要求，需提升濾芯過濾效能，台積公司攜手供應商改良濾芯清洗技術，改善濾芯潔淨度，進而降低廢液排放量，達到使用壽命與環保效益雙重提升。為驗證改良技術的成效，台積公司進一步分析濾芯清洗後的雜質含量，結果顯示經清洗改良後的濾芯潔淨度提升，且與TMAH品質指標正相關，展現卓越的洗淨效果。
TMAH濾芯潔淨度改善
秉持「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」原則，台積公司除與供應商合作開發電子級TMAH增加循環使用率外，亦提升TMAH濾芯清洗技術效能，同時積極評估擴展至其他顯影液及稀釋液的濾芯清洗，偕同供應商持續精進技術品質並降低資源耗用，深化環境永續發展。