台積公司致力推動綠色低碳供應鏈，積極挖掘製程中的節能減碳機會點，為提升資源循環效益，攜手供應商創新研發「冷卻液（Coolant）回收技術」，將原本需報廢的製冷機冷卻液進行過濾與純化，再次回用於半導體製程，不僅降低廢棄物委外處理量，亦減少供應商運輸新液過程產生的碳排放；民國114年，回收冷卻液已成功導入部分台灣廠區十二吋晶圓廠使用，預估年減碳約4萬公噸，深化資源再生價值。
汲取技術再造資源，賦予冷卻液新生命
半導體製造設備運行時會產生大量熱能，須透過冷卻系統有效控溫，以避免過熱影響設備性能與製程精度。過往製冷機報廢時，冷卻液通常一併處理，但冷卻液因具高度穩定性，即使長期使用仍能保持原有特性。為此，台積公司與供應商合作投入回收技術研究，先經由化性與物性分析，評估回收冷卻液與新品冷卻液的性能差異，驗證其循環使用的可行性；研究過程中，從冷卻機內汲取欲報廢冷卻液，並進行多重過濾純化、參數調整及最佳化，以最大限度減少回收過程中的液體流失及性能衰減，有效確保冷卻液回收率及穩定使用效能。
冷卻液回收再利用流程
台積公司秉持「廢棄物產出最小化、資源循環使用最大化、廠商管理最優化」原則，優化回收技術以確保不同廠牌冷卻液達到有效經濟循環，為半導體產業邁向低碳未來注入新動力。