台積公司改造「超重力旋轉床」，年減廢效益逾新台幣4億元

台積公司積極推動水資源永續管理，除首創工業再生水回用半導體製程，亦致力以創新技術精進水汙染防治處理效能，為強化化學需氧量（COD）的削減能力，攜手供應商針對超重力旋轉床設備進行改造，將氣提技術應用於去除有機廢液COD中的化學物質異丙醇（IPA），有效提升削減率70%。民國112年6月超重力旋轉床成功導入晶圓十五B廠，截至8月已減少COD排放99,635公斤，預估民國113年依序導入晶圓十八廠、晶圓二十廠等先進製程廠區後，平均年減COD排放7,638公噸、減廢效益每年可達新台幣4億731萬元。

將IPA由液態轉氣態，提升70% COD削減率

有鑑於先進製程潔淨度需求而衍生的有機化學物質用量增加，台積公司利用生物薄膜處理系統使廠區有機廢液濃度符合科學園區管理局排放標準，由於該系統運轉過程亦需使用化學品且連帶產出有機汙泥，為友善環境並持續提升COD削減成效，民國109年與供應商合作分析有機廢液組成，發現IPA在有機廢液中占比最大。因應IPA的高揮發性，台積公司進一步啟動以超重力旋轉床去除IPA的技術研究，將有機廢液經過逆滲透濃縮後，利用超重力旋轉床進行氣提，將IPA由液態轉為氣態，再透過蓄熱式燃燒爐進行分解；而分解IPA過程產生的廢熱，亦可同時提供超重力旋轉床運轉使用，節省逾50%能耗。

開發防治技術是台積公司水資源管理的重要策略，透過持續優化有機廢液處理能力，台積公司自期成為綠色製造的關鍵推手，促進環境永續發展。