台積公司再生電子級二氧化碳，助力綠色轉型

供應鏈碳管理是台積公司邁向淨零排放的關鍵一環。繼攜手氨水供應商導入藍氨，運用碳捕捉與封存（CCS）技術製造氨水後，台積公司進一步與雙氧水供應商合作，針對生產過程中排放的尾氣進行碳捕捉與純化，轉化為符合半導體製程品質標準的電子級二氧化碳，深化資源循環價值。民國115年5月，再生電子級二氧化碳已成功導入晶圓十四B廠，預估年減碳約1,200公噸，強化綠色供應鏈韌性。

回收尾氣，化身高純度電子級材料

雙氧水與電子級二氧化碳皆為半導體製程的重要化學品。由於生產雙氧水所需的氫氣，其上游製氫過程會排放含有二氧化碳的尾氣，為提升供應鏈永續性並實踐循環經濟，台積公司與供應商共同規畫於氫氣工廠端增設專用回收管線系統，捕捉經燃燒或反應後排放的尾氣，導入原料儲存槽集中收集，再藉由吸脫附塔移除殘留氫氣，並通過純化塔分離雜質、提升純度，最後生成電子級二氧化碳。

為使再生電子級二氧化碳達到半導體製程嚴格的高純度標準，台積公司不僅輔導供應商在生產階段建立完善的品質保證證明（CoA）機制，確保每批次產品均符合規範外，亦提供專業技術支援，包括協助供應商進行尾氣成分分析與純度檢測，並引導調整純化過程中的操作參數，進而提升分離效率及氣體純度。同時，協助供應商優化廠區產線運作與槽車沖吹標準以降低雜質風險，並透過現場稽核檢視生產管理流程，全面精進供應商技術能力與品質控管水準。

台積公司致力打造綠色低碳供應鏈，預計民國115年年底晶圓十五A廠、晶圓十五B廠導入再生電子級二氧化碳後，將實現年減碳逾6,000公噸；透過深化與供應商合作，落實資源循環再利用理念，為淨零排放目標全力以赴。

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一種資源可循環運用的經濟模式，減少廢棄物產出與溫室氣體排放。

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聯合國制訂17項目標，呼籲全球產官學通力合作，致力於2030年實現社會、經濟與環境各面向的永續發展。SDGs 12 聚焦「確保永續的消費與生產模式」。